Product/Nanoval 썸네일형 리스트형 Chuck Cleaning Material | Nanoval Chuck Cleaning Material(CCM)은 첨단 반도체 제조 공정에서 ESC Chuck(전기 정전 Chuck) 상의 이물질과 핫스팟을 효과적으로 제거하기 위해 설계된 특수 웨이퍼입니다. 이 제품은 Si(실리콘) 웨이퍼 표면에 폴리머(polymer)가 코팅된 형태로 제작되며, 응용 분야에 따라 다양한 폴리머 종류와 점도(Tack)를 선택할 수 있어 폭넓은 공정에서 유연하게 활용됩니다.CCM이 필요한 이유ESC Chuck 표면에 이물질이나 파티클이 남아 있으면 웨이퍼가 Chuck에 완전히 밀착되지 않는 문제가 발생할 수 있습니다. 이로 인해 다음과 같은 문제가 초래될 수 있습니다:냉각 헬륨 가스 누출: Chuck과 웨이퍼 사이의 틈으로 인해 헬륨 가스가 챔버 내부로 누출됩니다.웨이퍼 압력 오류(B.. 더보기 이전 1 다음
