하나의 장비로 8인치 웨이퍼의 노치 정렬 및 웨이퍼 ID 판독 가능
- ID 판독을 위한 매우 빠른 사이클 시간 - 35초/25 슬롯
- 고급 WID120 웨이퍼 ID 리더 통합
- 앞뒤 판독 기능
- 웨이퍼 매핑 기능
- ID 판독 후 추가 노치 정렬
- 클리닝 기능
- 앞뒤 RFID 기능
- SECS/GEM 인터페이스
- 테이블탑 사용을 위한 컴팩트한 디자인
- 사용자 친화적인 SEMI 표준 GUI
- ISO 클래스 3 (구 FS209E 클린룸 클래스 1)
- CE 및 FCC 인증
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