- 100mm 웨이퍼용 설계
- 1개 개방형 캐스셋 스테이션(제공된 샘플 캐스셋 기반)
- 캐스셋 방향 센서(캐스셋의 역방향 배치를 감지)
- 캐스셋 “존재” 및 “틸트” 센서
- 캐스셋 내 웨이퍼 슬롯 매핑 기능
- 웨이퍼 방향 평면 정렬 메커니즘 통합
- 다양한 웨이퍼 ID 위치를 위한 프로그래밍 가능한 웨이퍼 회전 기능
- 앞뒤 및 방향 평면 영역의 웨이퍼 ID 배치 판독
- 레시피 기반 매핑, 정렬 및 웨이퍼 ID 판독
- WID120 웨이퍼 ID 리더
- 작동 상태를 표시하는 신호등 (빨간색, 노란색, 녹색 및 파란색)
- xml 형식의 캐스셋 맵 파일
- 멀티 터치 패널 PC 및 Windows 기반 GUI
- SECS/GEM 통신 도구(옵션)
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